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发布时间:2022-02-17 06:05:13
粗糙和轮廓测量仪器传感器
传感器的线圈与测量线路直接接入由后续装备成的平衡电桥, 线圈电感量的变化使电桥失去了平衡, 于是就激发输出一个和触针上下位移量大小比的电量, 此时的这一电量比较微弱, 不易被察觉, 需要用电子装置将这一微弱电量的变化放大, 再经相敏检波后, 获得能表示触针位移量大小和方向的信号。 信号又可分为三路: 一路加载在指示表上, 以表示触针的位置; 一路输送至直流功率放大器, 放大后推动记录器进行记录; 一路经滤波和平均表放大器放大之后, 进入积分计算器, 进行积分计算, 由指示表直接读出表面粗糙度参数值。
粗糙和轮廓测量仪器的光学传感器
光学传感器法是在光学三角测距法的原理上提出来的,其工作原理如图7所示装置主要有两部分构成,有两个位置敏感探测器(PSD)和激光器组成的对称三角测距器及两个光电二极管组成的光传感器由PSD探测到携带被测物体表面信息的光信号,输出两路信号(Td和Tcl );光电二极管探测到的光信号后输出一路模拟电压信号(Sc2 ),然后利用PSD和光电二极管探测到的信号与被测物表面粗糙度的关系就可以确定被测物体表面的粗糙度该方法采用技术较成熟的光学三角法,比较容易实现,但是测量精度不高。
轮廓测量仪器主要优点
传感器的触针由金刚石制成,针尖圆弧半径为2微米,在触针的后端镶有导块,形成一条相对于工件表面宏观起伏的测量的基准,使触针的位移仅相对于传感器壳体上下运动,所以导块能起到消除宏观几何形状误差和减小纹波度对表面粗糙度测量结果的影响。传感器以铰链形式和驱动箱连接,能自由下落,从而保证导块始终与被测表面接触。TalySurf6采用的是电感式传感器,其工作原理简述如下。传感器的一端装有触针,其表面与被测表面接触,当传感器以匀速水平移动时,被测表面的峰谷使探针产生上下位移,使敏感元件的电感发生变化,从而引起交流载波波形发生变化。
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